Ks 9 14/08/202514/08/2025 Việt Nguyễn Previous Hình 4. Bộ phận Curtain Plate sau 6 tháng chạy mẫu liên tục không cần vệ sinh mà vẫn đảm bảo độ nhạy. (a) mặt trước, nơi hướng và tiếp xúc với ion source; (b) mặt sau hướng vào các bộ phận bên trong máy